CSPP Laboratory

22

차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성

연구기간 2025.03.01~2026.02.28

협약기관 한국산업기술진흥원
21

TEK 산학 PJT Plasma Etch Simulation

연구기간 2025.03.01~2026.02.28

협약기관 도쿄일렉트론코리아 주식회사
20

공정내 불순물 농도를 실시간 분석 가능한 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치 개발

연구기간 2025.01.01~2025.12.31

협약기관 한국산업기술기획평가원
19

(2차년도)Numerical analysis study on ICP Source simulation to verify and confirm plans for optimizing PEALD equipment

연구기간 2024.11.01~2025.10.31

협약기관 에이에스엠케이 주식회사
18

PVD Stage RF Simulation

연구기간 2024.06.01~2024.11.30

협약기관 한국알박(주)
17

반도체 플라즈마 식각 장비 부품(실리콘, SiC 등)의 성능 예측을 위한 시뮬레이션 연구

연구기간 2024.05.01~2025.04.30

협약기관 하나머티리얼즈(주)
16

차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성

연구기간 2024.03.01~2025.02.28

협약기관 한국산업기술진흥원
15

공정내 불순물 농도를 실시간 분석 가능한 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치 개발

연구기간 2024.01.01~2024.12.31

협약기관 한국산업기술기획평가원
14

Numerical analysis study on ICP Source simulation to verify and confirm plans for optimizing PEALD equipment

연구기간 2023.11.01~2024.10.31

협약기관 에이에스엠케이 주식회사
13

장비 최적화를 위한 simulation DB 개발

연구기간 2023.11.01~2024.10.31

협약기관 한국핵융합에너지연구원
12

PVD Stage RF Simulation

연구기간 2023.10.01~2024.03.31

협약기관 한국알박(주)
11

유로 개선을 통한 플라즈마 시스템의 혼합성능 향상

연구기간 2023.08.01~2024.07.31

협약기관 인투코어테크놀로지주식회사
10

공정내 불순물 농도를 실시간 분석 가능한 일체형 저전력 고성능 극저온 고진공 배기장치 개발

연구기간 2023.04.01~2023.12.31

협약기관 한국산업기술기획평가원
9

TEK 산학 PJT TTCK-W Etch Simulation

연구기간 2023.03.01~2024.04.30

협약기관 도쿄일렉트론코리아 주식회사
8

PVD Stage RF Simulation

연구기간 2023.03.01~2023.09.30

협약기관 한국알박(주)