CSPP Laboratory

7

Wave Lagoon 연구 용역의 건

연구기간 2022.10.01~2023.03.30

협약기관 주식회사 화이트워터에이앤씨
6

장비 최적화를 위한 simulation DB 개발

연구기간 2022.09.01~2022.10.31

협약기관 한국핵융합에너지연구원
5

PVD Stage RF Simulation

연구기간 2022.09.01~2023.01.31

협약기관 한국알박(주)
4

PECVD Chamber 최적화를 위한 NF3 RPS Plasma 수치 해석적 연구

연구기간 2022.09.01~2022.12.31

협약기관 에스케이하이닉스 주식회사
3

ICP RPS + CCP 를 사용하는 PECVD 증착 균일도 향상을 위한 연구

연구기간 2021.06.01~2022.07.31

협약기관 도쿄일렉트론코리아 주식회사
2

유진테크 Single Poly 장비 개선

연구기간 2020.02.01~2020.07.31

협약기관 에스케이하이닉스 주식회사
1

플라즈마 amorphous carbon layer (ACL) 증착 장비 균일도 개선 연구

연구기간 2019.08.01~2021.07.31

협약기관 주식회사 테스